SilcoTek高公差,精密CVD硅障涂层保护和改善整个半导体工艺系统的关键表面。涂层所有关键的流道表面将防止离子和颗粒污染,提高工艺收率。亚搏娱乐appSilcoTek®涂料等yabo sport.com,Dursox®和Dursan®使关键的流道具有抗腐蚀性和惰性,确保工艺部件受到保护,不会受到破坏产量的金属离子污染。
半导体工艺流道的腐蚀会导致成品率的损失和金属离子的释放。SilcoTek耐腐蚀屏障涂层可以粘结到最复杂的内部流道表面,以显著提高不锈钢和金属合金表面的耐腐蚀性和惰性。应用程序包括:
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需要一个耐用和耐腐蚀的惰性表面?Dursan具有卓越的性能和耐用性,使其成为具有挑战性环境中取样的理想涂层。
常见的半分子化学品,如HBr,会腐蚀工艺系统,yabo sport.com我们的抗腐蚀CVD涂层,可以提高3倍以上的系统耐腐蚀能力。
SilcoTek高公差,精密CVD硅涂层保护和改善整个半导体工艺系统的关键表面。涂层所有关键的流道表面将防止离子和颗粒污染,提高工艺收率。涂覆整个流动路径以保证最大的性能。
未涂覆的油管(左下“A”)保留甲醇,导致不可靠和缓慢的校准和测试。SilcoNert涂层管(右“B”)保留很少的甲醇,导致快速响应和准确的测试结果。这使得洁净室和其他室内或室外监测站能够提供一致和精确的结果。
SilcoTek®惰性屏障涂层显著减少不锈钢表面的气体排放,提高泵送效率,几乎消除了表面老化的要求。涂层真空和关键的流道表面提高工艺效率和生产力。
水分和其他污染物不粘在SilcoTek®涂层,改善SEM泵降,防止产品掺假。
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为了最大限度地利用你的流程和产品,涂覆所有流道部件和系统。这包括:
校准和规范气体输送系统
流程流的路径