SilcoGuard

高纯度低释气喷涂

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什么是SilcoGuard?

SilcoGuard®是设计成最小化真空系统脱气和污染在超高真空腔室和半导体工艺流道的高纯度硅的隔离涂层处理。SilcoGuard由SilcoTek的专利结合到不锈钢,合金,玻璃,和陶瓷表面化学气相沉积工艺。所述SilcoGuard高纯度湿气排斥表面作为屏障,分离困上或在表面上,同时最小化在UHV环境中脱气和处理污染的任何杂质。

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SilcoGuard涂覆凸缘

描述图片

涂覆优点真空过程应用

  • 显著减少抽空时间

  • 减少水分污染和除气

  • 阻挡涂层防止表面污染

  • 提高产品的产量和纯度的测试
  • 提高生产力

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