高纯度的涂层消除离子污染在腐蚀性蚀刻气体流。
通过的所有腔室和设备的涂覆增强纯度。减少交叉污染，老化和腐蚀。
稳定流动路径，以保证臭氧纯度。
减少污染和维护所造成的腐蚀。
数据
比较腐蚀测试表明，通过Dursox一个数量级相比未涂覆的不锈钢时提高耐腐蚀性。在6M盐酸（下面）ASTM G3172小时浸没讲述的故事。厚或Dursox的薄涂层将通过10倍提高的耐腐蚀性。
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为了得到最出你的流程路径和仪表涂层的所有流路部件并且在各种半导体应用的系统。这包括：
| 蚀刻 | 高纯度的涂层消除离子污染在腐蚀性蚀刻气体流。 |
| 原子层沉积（ALD） | 通过的所有腔室和设备的涂覆增强纯度。减少交叉污染，老化和腐蚀。 |
| 臭氧 | 稳定流动路径，以保证臭氧纯度。 |
| 气体输送 | 防止离子污染，确保高纯度气体。 |
| 化学机械平坦化（CMP） | 增加润滑，防止粘和剪切的停机时间。 |
| 外延 | 显著减少污染和维护所造成的腐蚀。 |
涂层的任何临界流路部件，其中包括：
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