Dursox

高纯度耐腐蚀氧化硅涂层

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什么是Dursox?

Dursox®是薄的,但耐用氧化硅(SiO)高纯度阻挡涂层的过程,防止半导体工具的腐蚀和侵蚀。我们的专利CVD工艺键超高纯度硅不锈钢,合金,玻璃和陶瓷表面。微薄涂层渗透小孔,内腔和窄孔管而没有部件公差变化显著。Dursox将与部分表面变形,从而允许无泄漏的密封要么半径弯头同时保持高的尺寸公差。

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涂层半导体和研究中的应用优势

  • 高纯度的涂层消除离子污染在腐蚀性蚀刻气体流。

  • 通过的所有腔室和设备的涂覆增强纯度。减少交叉污染,老化和腐蚀。

  • 稳定流动路径,以保证臭氧纯度。

  • 防止离子污染,确保高纯度气体。
  • 减少污染和维护所造成的腐蚀。

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涂料资源


数据

比较腐蚀测试表明,通过Dursox一个数量级相比未涂覆的不锈钢时提高耐腐蚀性。在6M盐酸(下面)ASTM G3172小时浸没讲述的故事。厚或Dursox的薄涂层将通过10倍提高的耐腐蚀性。

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为了得到最出你的流程路径和仪表涂层的所有流路部件并且在各种半导体应用的系统。这包括:

蚀刻 高纯度的涂层消除离子污染在腐蚀性蚀刻气体流。
原子层沉积(ALD) 通过的所有腔室和设备的涂覆增强纯度。减少交叉污染,老化和腐蚀。
臭氧 稳定流动路径,以保证臭氧纯度。
气体输送 防止离子污染,确保高纯度气体。
化学机械平坦化(CMP) 增加润滑,防止粘和剪切的停机时间。
外延 显著减少污染和维护所造成的腐蚀。

涂层的任何临界流路部件,其中包括:

  • 传感器和探测器
  • 莲蓬头
  • 换热器
  • 仪器仪表的流路
  • 校准流动路径
  • 监管机构
  • 管道
  • 阀门及配件
  • 分离器和过滤器
  • 电抗器,坦克和罐

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